文天精策仪器科技（苏州）有限公司申请晶圆退火设备及方法专利，提高整体退火效率与质量

金融界 2025 年 5 月 3 日消息，国家知识产权局信息显示，文天精策仪器科技（苏州）有限公司申请一项名为“一种晶圆退火设备及方法”的专利，公开号 CN119905428A，申请日期为 2025 年 1 月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆退火技术领域，具体的说是一种晶圆退火设备及方法，包括晶圆退火智能机箱，所述晶圆退火智能机箱的底端固定安装有智能降温底座，所述智能降温底座的一侧设置有通风维护网格板，所述晶圆退火智能机箱的一侧固定安装有侧安装取料室，所述侧安装取料室的一侧转动安装有加厚密封门，所述加厚密封门一侧设置有把手，所述侧安装取料室的一侧安装有温度控制器，所述晶圆退火智能机箱的一侧安装有传感器显示开关，有利于晶圆退火设备在使用时，能够对晶圆吸附的扩散杂质清理，防止吸附杂质对晶圆污染，且能够对晶圆退火时，逐步降温后取出，保障晶圆的内部应力在退火中分布均匀，提高整体的退火效率与质量。

天眼查资料显示，文天精策仪器科技（苏州）有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，文天精策仪器科技（苏州）有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可3个。

本文源自：金融界

作者：情报员