沈阳元创申请一种采用图像采集扫描结构的基板装载机专利，可保证基板的洁净度

金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳元创半导体有限公司申请一项名为“一种采用图像采集扫描结构的基板装载机”的专利，公开号CN 119786407 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明属于半导体传送技术领域，特别涉及一种采用图像采集扫描结构的基板装载机。包括竖板和扫描机构，扫描机构包括开门面板、扫描元件及二维运动单元，二维运动单元设置于基板装载机的竖板的下部且输出端与开门面板连接，开门面板设置于竖板上部的装载窗口处，扫描元件设置于开门面板的顶部；二维运动单元通过水平和升降运动驱动开门面板进行开门动作，扫描元件在开门面板升降运动过程中对位于装载窗口内侧的基板盒内的基板进行扫描且图像采集，实现对基板位置及状态的检测。本发明将扫描元件设置于开门机构上，在开门运动的过程中同时进行扫描运动，扫描运动无需单独进行进给运动，减少了结构数量与运动元件，减少灰尘，保证基板的洁净度。

天眼查资料显示，沈阳元创半导体有限公司，成立于2022年，位于沈阳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币，实缴资本799.9万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳元创半导体有限公司财产线索方面有商标信息6条，专利信息18条，此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自：金融界

作者：情报员