江苏应材微机电科技取得适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘专利,实现晶圆吸附转换操作便捷

金融界 2025 年 5 月 3 日消息,国家知识产权局信息显示,江苏应材微机电科技有限公司取得一项名为“一种适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘”的专利,授权公告号 CN222813579U,申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘,涉及晶圆相关设备技术领域,包括柱体和吸盘壳体,所述柱体的底端固定安装有滚动盘,所述吸盘壳体的顶部固定安装有底腔,所述底腔的顶部设有凸起边缘,所述滚动盘的外表面设有凹槽。本实用新型通过转动吸盘壳体使得第一铭刻牌与第二铭刻牌位置对应,从而实现气槽与六英寸吸孔位置对应,此时开启真空泵组件,可在六英寸吸孔和四英寸吸孔底部均产生吸附力,用于吸附六英寸晶圆,转动吸盘壳体使得第一铭刻牌与第二铭刻牌错位,底部气槽与六英寸吸孔位置错位,使得底部四个六英寸吸孔失去吸附力,内部四个四英寸吸孔仍然存在吸附力,从而实现对四英寸晶圆的吸附,转换操作便捷。

天眼查资料显示,江苏应材微机电科技有限公司,成立于2019年,位于泰州市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万美元。通过天眼查大数据分析,江苏应材微机电科技有限公司参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自:金融界

作者:情报员