无锡亘芯悦申请半导体测量系统及方法专利，具有较快测量速度和较高测量精度

金融界2025年5月13日消息，国家知识产权局信息显示，无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“半导体测量系统及半导体测量方法”的专利，公开号CN119959269A，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本申请涉及一种半导体测量系统及半导体测量方法。该半导体测量系统包括：图案成像装置、第一测量装置、第二测量装置和测量控制装置。图案成像装置用于成像光栅图案，将光栅图案转换为第一光栅图案和第二光栅图案，并将第一光栅图案成像至待测半导体结构的位于第一测量装置下方的表面，将第二光栅图案成像至待测半导体结构的位于第二测量装置下方的表面。第一测量装置用于测量第一光栅图案。第二测量装置用于测量第二光栅图案。测量控制装置用于根据第一测量装置和第二测量装置测量的测量结果实时调整待测半导体结构的放置位置。本申请可以具有较快的测量速度和较高的测量精度。

天眼查资料显示，无锡亘芯悦科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2029.8681万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡亘芯悦科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可11个。

本文源自：金融界

作者：情报员