睿励科学仪器申请一种晶圆薄膜测量装置及方法专利，极大地简化操作流程

金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“一种晶圆薄膜测量装置及方法”的专利，公开号CN 119786366 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆薄膜测量装置及方法。该晶圆薄膜测量方法包括以下步骤：提供待测晶圆，在所述晶圆上选取量测点并进行膜厚测量，获取第一膜厚值；对所述量测点进行激光清洗后，再次对所述量测点进行所述膜厚测量，获取第二膜厚值；获得所述量测点的所述第一膜厚值与所述第二膜厚值的膜厚差值；基于所述膜厚差值，输出所述量测点第三膜厚值。本发明提供的晶圆薄膜测量方法能够针对不同厚度和不同结构的晶圆，使用一套初始清洗窗口参数，极大地简化了操作流程，其次，通过迭代清洗的方式，精准有效地去除晶圆表面的污染层，提高了生产效率。

天眼查资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本84071.5708万人民币，实缴资本54666.4542万人民币。通过天眼查大数据分析，睿励科学仪器（上海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息242条，此外企业还拥有行政许可19个。

本文源自：金融界

作者：情报员