ASM IP 申请衬底转移专利，可使衬底转移装置的角度平衡

金融界 2025 年 4 月 10 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“衬底转移装置、凹口位置校正方法以及衬底转移方法”的专利，公开号 CN 119786376 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示，衬底转移装置的示例包括负载锁定室(LLC)、第一晶片搬运室(WHC) 、固定在第一WHC 中的第一附接位置的第一转移机器人、与第一WHC 接触的通过室(PTC)、设置在 PTC 中的衬底平台、与 PTC 接触的第二 WHC 以及固定在第二 WHC 中的第二附接位置的第二转移机器人。由连接第一附接位置和第二附接位置的第一虚拟线和连接第一附接位置和衬底平台的第二虚拟线形成的角度即第一角度等于由第一虚拟线和连接第二附接位置和衬底平台的第三虚拟线形成的角度即第二角度。

本文源自：金融界

作者：情报员